一种用于晶圆生产离子注入的控制装置

申  请  号:2019103262263
状       态:已许可
发布日期:2024-04-07 17:19:18
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本发明公开了一种用于晶圆生产离子注入的控制装置,其结构包括活动道、衔接操作头、离子校对输出口、护环,活动道安装于衔接操作头内部,离子校对输出口包括校对口杆、直射道、完整卡扣、灵活压球、整体囊、隔层、定向顶杆,当离子注入口受到损坏时,其前者将会掉落,后者主杆将会往下滑动,由空格受力将其回力镖撑开,其滑润层辅助其边角往两侧滑动,当回力镖被撑开的同时,折弯限向杆将会被挤压,其卡勾与固定柱之间的定位,其顶壳将对整体囊进行推动,整体囊内部的外压弧将受到力,使其能够顶在新的主杆表面,对其进行固定,能够在离子校对直射的口受到损坏时,及时的补上备用,以防操作的过程中有所失误,这次操作结束后在对其进行检修。

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