一种用于微纳操作的机械手

本发明提供一种用于微纳操作的机械手，包括微动定位装置、运动控制装置、末端执行装置和驱动装置；所述末端执行装置安装于所述微动定位装置，所述运动控制装置可用于控制所述微动定位装置带动所述末端执行装置至少沿相互不共线的三个方向运动，从而调节所述末端执行装置与微纳米器件之间的距离；所述驱动装置与所述末端执行装置通过导线电连接，用于驱动所述末端执行装置对所述微纳米器件产生静电力，实现对所述微纳米器件的直接抓取和释放。本发明的技术方案解决了现有的微纳操纵设备结构复杂或难以小型化，或反馈信息精度不高，稳定性较差，成本较高等问题。